開発製品一覧


  001:  恒温変位測定装置 (型式:R01A01-20614)
プリント基盤及び実装基盤等を設定温度まで加熱し、
温度変化による変位をレーザー変位計にて計測します。
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外観
外観

仕様  
測定範囲 X方向250mm×Y方向150mm
ステージ真直度 15μm(1軸当り、常温時)
センサヘッド
走行速度
最大20mm/秒
設定温度 40〜400℃
プレートサイズ 250×150mm
測定データ処理 数値データとして出力・保存
(オプションで3D表示も可能です)
制御 PLC&パソコン
センサ 測定部に搭載するセンサはお打ち合わせさせていただきます。
例:キーエンス製LKシリーズ、LTシリーズ、CLシリーズその他

※仕様は変更可能です。お問合せ下さい。


  004:  ウェハ厚みプロファイル測定機 (型式R01B02-20615)


ウェハ厚みを高精度に測定します
レーザ変位計を2台使用し上下から挟み込みで測定します
厚み・プロファイル(表面形状)の測定が可能です
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外観

仕様  
ウェハー外径 4インチ以下(102mm)
測定範囲 半径方向連続×8ライン(45度毎)
測定データ処理 数値データとして表示出力、CSVデータ保存
制御 PLC、パソコン
センサ 測定部に搭載するセンサはお打ち合わせさせて頂きます。
例:キーエンス製 LTシリーズ、LKシリーズ、SIシリーズ 

※仕様は変更可能です。お問い合わせ下さい。


  005:  ウエハクランプ工具 (型式:FA-24603)
ウェハを外周でクランプする工具です。絶縁され、軽量です。

外観

掲載画像
写真は弊社製ウェハ厚み測定装置への取付例です。

仕様  
クランプ部材質 テフロン(ウェハ形状に合わせ製作致します。)
クランプ圧力 約50g
                 
(注)仕様は変更可能です。お問い合わせ下さい。


  006:  ガラスパネル形状測定装置 (型式:R01A02-24757)
ガラスパネルの表面状態をブルーレーザ式測定器により厚み・距離・形状を計測します
温度変化・経年劣化に強い石(グラナイト)定盤を用いての作成も可能です

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外観

仕様  
透明体厚み測定  
測定器 キーエンス製LT-9510VM(ブルーレーザタイプ)
測定範囲 X軸 490mm × Y軸 390mm × Z軸(厚み) 0.2mm(max)
測定精度 ±0.1μm以下(厚み)
移動精度 X軸方向±5μm以下、Y軸方向±5μm以下、繰返し精度±2μm以下
形状プロファイル(X軸方向)  
測定範囲 X軸490mm × Y軸390mm × Z軸0.2mm(max)
測定精度 X軸方向±5μm以下
そり、うねり測定  
測定範囲 X軸490mm × Y軸390mm × Z軸30mm
測定精度 X軸方向±5μm以下、Y軸方向±5μm以下、Z軸方向±5μm以下
表面粗さ測定  
測定範囲 X軸490mm × Y軸390mm
Ra,Rmax,Rz(10点平均) ±0.1μm以下


※仕様は変更可能です。お問い合わせ下さい。


  007:  シャワープレート穴径検査装置(型式:R01D00-22604)

シャワープレート穴の磨耗を画像センサにて判別する装置です。
カメラを電動スライダ(XY2軸)にて移動させ設定個所を検査します。

●外観
掲載画像

ステージ上は遮光カバーにより囲われます。

仕様  
測定範囲 X方向450mm × Y方向450mm
カメラ走行速度 最大120mm/秒
制御 パソコン、PLC
画像センサ キーエンス製 CV-Xシリーズ

※仕様は変更可能です。お問い合わせ下さい。