開発製品一覧


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  001:  恒温変位測定装置 (型式:XY-20614L)
プリント基盤及び実装基盤等の指定温度時の反りなどの変化を計測できます。
PID制御によりプレート表面温度は高精度にコントロールされます。
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外観
外観

仕様  
測定範囲 X方向250mm×Y方向150mm
ステージ真直度 15μm(1軸当り、常温時)
センサヘッド
走行速度
最大20mm/秒
設定温度 40〜400℃
温度調整精度 ±0.3%(F.S)+1digit
プレートサイズ 250×150mm
測定データ処理 数値データとして表示出力
追加仕様で3D表示、データベース化
制御 タッチパネル設定、PLC、パソコン
センサ 測定部に搭載するセンサはお打ち合わせさせていただきます。
例:キーエンス製LKシリーズ、LTシリーズ、SIシリーズその他

(注)仕様は変更可能です。お問合せ下さい。


  004:  ウェハ厚みプロファイル測定機 (型式:LT-20615L)


ウェハ厚みを高精度に測定します。
キーエンス製LT-9030M測定ヘッドを上下から挟み込みで計測しますので高精度に厚みプロファイル測定が可能です。
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外観

仕様  
ウエハ外径 102mm以内
測定範囲 半径方向連続×45度ごと8ライン
測定データ処理 数値データとして表示出力
制御 センサ移動、ウェハ回転は自動(PLC、パソコン)
センサ 測定部に搭載するセンサはお打ち合わせさせて頂きます。
例:キーエンス製 LTシリーズ、LKシリーズ、SIシリーズ その他

(注)仕様は変更可能です。お問い合わせ下さい。


  005:  ウエハクランプ工具 (型式:FA-24603)
ウェハを外周でクランプする工具です。絶縁され、軽量です。

外観

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写真は弊社製ウェハ厚み測定装置への取付例です。

仕様  
クランプ部材質 テフロン(ウェハ形状に合わせ製作致します。)
クランプ圧力 約50g
                 
(注)仕様は変更可能です。お問い合わせ下さい。


  006:  ガラスパネル形状測定装置 (型式:LT-24757)
ガラスパネルの表面状態の厚み、距離、形状をキーエンス製ブルーレーザ式測定器により計測します(パネル製作時の評価に使用)
X軸はデュアルステージ仕様です、そして各々の軸に磁気スケール設置しフィードバック制御を行い絶対位置決め精度を高めています。またベースにグラナイト定盤を用いればさらに平面度を高めることも可能です。
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外観

仕様  
透明体厚み測定  
測定器 キーエンス製LT-9510VM(ブルーレーザタイプ)
測定範囲 X軸 490mm × Y軸 390mm × Z軸(厚み) 0.2mm(max)
測定精度 ±0.1μm以下
距離測定  
測定範囲 X軸490mm × Y軸390mm
測定精度 X軸方向±5μm以下、Y軸方向±5μm以下、繰返し精度±2μm以下
形状プロファイル  
測定範囲 X軸490mm × Y軸390mm × Z軸0.2mm(max)
測定精度 X軸方向±5μm以下
そり、うねり測定  
測定範囲 X軸490mm × Y軸390mm × Z軸30mm
測定精度 X軸方向±5μm以下、Y軸方向±5μm以下、
Z軸方向 ソフトウェアによる補正
表面粗さ測定  
測定範囲 X軸490mm × Y軸390mm
Ra,Rmax,Rz(10点平均) ±0.1μm以下
自動ステージ  
機構 直動ガイド、ボールネジ、ステッピングモーター、磁気スケールによる
移動範囲 X軸500mm×Y軸400mm×Z軸 35mm
X軸、Y軸位置精度 3+3ML/1000μm(マグネスケールによる)ML:長さ
スケール分解能 0.1μm~
最小移動単位 1μm
最大速度 XY軸50mm/sec以上、Z軸10mm/sec以上


(注)仕様は変更可能です。お問い合わせ下さい。


  007:  シャワープレート穴径検査装置(型式:CV-22604U)

シャワープレート穴の磨耗をキーエンス製画像センサにて判別する装置です。
カメラをXYステージにて移動させ 指定部位を計測します。

●外観
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ステージ上は遮光カバーにより囲われます。

仕様  
測定範囲 X方向450mm × Y方向450mm
カメラ走行速度 最大120mm/秒
制御 PLC、パソコン
画像センサ キーエンス製 CVシリーズ

(注)仕様は変更可能です。お問い合わせ下さい。


  008:  原盤厚み測定機 (型式:LK-20356)

ディスク原盤、ウェハなどの厚みを高精度に測定します。
キーエンス製 LK-G15 測定ヘッドを上下から挟み込みで測定しますので,
高精度厚み測定が可能です。
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● 外観

測定部回転テーブル

仕様  
原盤外径 220mm以内
測定範囲 半径方向10点×90度ごと4ライン
原盤吸着方式 マグネット(CD原盤時)
測定データ処理 数値データとして表示出力
数値データとして表示出力 センサ移動、原盤回転は自動(PLC、パソコンによる。)
センサ 測定部に搭載するセンサはお打ち合わせさせて頂きます。
例:キーエンス製 LKシリーズ、LTシリーズ、SIシリーズ その他

(注)仕様は変更可能です。お問い合わせください。