自動化機械:省力化機械:検査機器:計測装置:検査装置:組立装置:半導体装置の設計・製作・製造・研究開発:株式会社エフエイシステムズ:茨城県つくば市:筑波研究学園都市
開発製品一覧
001: 恒温変位測定装置 （型式：R01A01-20614）
外観
外観
| 仕様 | |
|---|---|
| 測定範囲 | X方向250mm×Ｙ方向150mm |
| ステージ真直度 | 15μm（１軸当り、常温時） |
| センサヘッド 走行速度 |
最大20mm/秒 |
| 設定温度 | 40〜400℃ |
| プレートサイズ | 250×150mm |
| 測定データ処理 | 数値データとして出力・保存 (オプションで3Ｄ表示も可能です) |
| 制御 | ＰＬＣ＆パソコン |
| センサ | 測定部に搭載するセンサはお打ち合わせさせていただきます。 例：キーエンス製LKシリーズ、LTシリーズ、CLシリーズその他 |
※仕様は変更可能です。お問合せ下さい。
004: ウェハ厚みプロファイル測定機 （型式R01B02-20615）
ウェハ厚みを高精度に測定します
レーザ変位計を2台使用し上下から挟み込みで測定します
厚み・プロファイル(表面形状)の測定が可能です
外観
| 仕様 | |
|---|---|
| ウェハー外径 | 4インチ以下(102mm) |
| 測定範囲 | 半径方向連続×8ライン(45度毎) |
| 測定ﾃﾞｰﾀ処理 | 数値データとして表示出力、CSVデータ保存 |
| 制御 | ＰＬＣ、パソコン |
| センサ | 測定部に搭載するセンサはお打ち合わせさせて頂きます。 例：キーエンス製 LTシリーズ、LKシリーズ、SIシリーズ |
※仕様は変更可能です。お問い合わせ下さい。
005: ウエハクランプ工具 （型式:FA-24603）
ウェハを外周でクランプする工具です。絶縁され、軽量です。
外観
写真は弊社製ウェハ厚み測定装置への取付例です。
（注）仕様は変更可能です。お問い合わせ下さい。
| 仕様 | |
|---|---|
| クランプ部材質 | テフロン（ウェハ形状に合わせ製作致します。） |
| クランプ圧力 | 約50ｇ |
（注）仕様は変更可能です。お問い合わせ下さい。
006: ガラスパネル形状測定装置 （型式：R01A02-24757）
ガラスパネルの表面状態をブルーレーザ式測定器により厚み・距離・形状を計測します
温度変化・経年劣化に強い石(グラナイト)定盤を用いての作成も可能です
温度変化・経年劣化に強い石(グラナイト)定盤を用いての作成も可能です
外観
| 仕様 | |
|---|---|
| 透明体厚み測定 | |
| 測定器 | キーエンス製LT-9510VM（ブルーレーザタイプ） |
| 測定範囲 | Ｘ軸 490mm × Ｙ軸 390mm × Ｚ軸(厚み) 0.2mm(max) |
| 測定精度 | ±0.1μm以下(厚み) |
| 移動精度 | Ｘ軸方向±5μm以下、Ｙ軸方向±5μm以下、繰返し精度±２μm以下 |
| 形状プロファイル(X軸方向) | |
| 測定範囲 | Ｘ軸490mm × Ｙ軸390mm × Ｚ軸0.2mm(max) |
| 測定精度 | Ｘ軸方向±5μm以下 |
| そり、うねり測定 | |
| 測定範囲 | Ｘ軸490mm × Ｙ軸390mm × Ｚ軸30mm |
| 測定精度 | Ｘ軸方向±5μm以下、Ｙ軸方向±5μm以下、Z軸方向±5μm以下 |
| 表面粗さ測定 | |
| 測定範囲 | Ｘ軸490mm × Ｙ軸390mm |
| Ra,Ｒｍａｘ,Rｚ(10点平均) | ±0.1μｍ以下 |
※仕様は変更可能です。お問い合わせ下さい。
007: シャワープレート穴径検査装置（型式：R01D00-22604）
シャワープレート穴の磨耗を画像センサにて判別する装置です。
カメラを電動スライダ(XY2軸)にて移動させ設定個所を検査します。
●外観
ステージ上は遮光カバーにより囲われます。
| 仕様 | |
|---|---|
| 測定範囲 | Ｘ方向450mm × Ｙ方向450mm |
| カメラ走行速度 | 最大120mm/秒 |
| 制御 | パソコン、PLC |
| 画像センサ | キーエンス製 CV-Xシリーズ |
※仕様は変更可能です。お問い合わせ下さい。
008: 原盤厚み測定機 （型式：R01B03-20356）
ディスク原盤を高精度に測定します
レーザ変位計を2台使用し上下から挟み込みで厚み・プロファイル(表面形状)の測定が可能です
● 外観
測定部回転テーブル
| 仕様 | |
|---|---|
| 原盤外径 | 220ｍｍ以内 |
| 測定範囲 | 半径方向10点×4ライン(90度毎) |
| 原盤吸着方式 | マグネット（ＣＤ原盤時） |
| 測定データ処理 | 数値データとして表示出力、CSVデータ保存 |
| 制御 | ＰＬＣ、パソコン |
| センサ | 測定部に搭載するセンサはお打ち合わせさせて頂きます。 例：キーエンス製 LKシリーズ、LTシリーズ、SIシリーズ |
※仕様は変更可能です。お問い合わせください。
温度変化による変位をレーザー変位計にて計測します。