自動化機械:省力化機械:検査機器:計測装置:検査装置:組立装置:半導体装置の設計・製作・製造・研究開発:株式会社ＦＡシステムズ:茨城県つくば市:筑波研究学園都市
開発製品一覧
001: 恒温変位測定装置 （型式：XY-20614L）
外観
外観
| 仕様 | |
|---|---|
| 測定範囲 | X方向250mm×Ｙ方向150mm |
| ステージ真直度 | 15μm（１軸当り、常温時） |
| センサヘッド 走行速度 |
最大20mm/秒 |
| 設定温度 | 40〜400℃ |
| 温度調整精度 | ±0.3％(F.S)＋1digit |
| プレートサイズ | 250×150mm |
| 測定データ処理 | 数値データとして表示出力 追加仕様で3Ｄ表示、データベース化 |
| 制御 | タッチパネル設定、ＰＬＣ、パソコン |
| センサ | 測定部に搭載するセンサはお打ち合わせさせていただきます。 例：キーエンス製LKシリーズ、LTシリーズ、SIシリーズその他 |
(注)仕様は変更可能です。お問合せ下さい。
004: ウェハ厚みプロファイル測定機 （型式：LT-20615L）
ウェハ厚みを高精度に測定します。
キーエンス製LT-9030M測定ヘッドを上下から挟み込みで計測しますので高精度に厚みプロファイル測定が可能です。
外観
| 仕様 | |
|---|---|
| ウエハ外径 | 102ｍｍ以内 |
| 測定範囲 | 半径方向連続×45度ごと8ライン |
| 測定ﾃﾞｰﾀ処理 | 数値データとして表示出力 |
| 制御 | センサ移動、ウェハ回転は自動（ＰＬＣ、パソコン） |
| センサ | 測定部に搭載するセンサはお打ち合わせさせて頂きます。 例：キーエンス製 LTシリーズ、LKシリーズ、SIシリーズ その他 |
（注）仕様は変更可能です。お問い合わせ下さい。
005: ウエハクランプ工具 （型式:FA-24603）
ウェハを外周でクランプする工具です。絶縁され、軽量です。
外観
写真は弊社製ウェハ厚み測定装置への取付例です。
（注）仕様は変更可能です。お問い合わせ下さい。
| 仕様 | |
|---|---|
| クランプ部材質 | テフロン（ウェハ形状に合わせ製作致します。） |
| クランプ圧力 | 約50ｇ |
（注）仕様は変更可能です。お問い合わせ下さい。
006: ガラスパネル形状測定装置 （型式：LT-24757）
ガラスパネルの表面状態の厚み、距離、形状をキーエンス製ブルーレーザ式測定器により計測します（パネル製作時の評価に使用）
Ｘ軸はデュアルステージ仕様です、そして各々の軸に磁気スケール設置しフィードバック制御を行い絶対位置決め精度を高めています。またベースにグラナイト定盤を用いればさらに平面度を高めることも可能です。
Ｘ軸はデュアルステージ仕様です、そして各々の軸に磁気スケール設置しフィードバック制御を行い絶対位置決め精度を高めています。またベースにグラナイト定盤を用いればさらに平面度を高めることも可能です。
外観
| 仕様 | |
|---|---|
| 透明体厚み測定 | |
| 測定器 | キーエンス製LT-9510VM（ブルーレーザタイプ） |
| 測定範囲 | Ｘ軸 490mm × Ｙ軸 390mm × Ｚ軸(厚み) 0.2mm(max) |
| 測定精度 | ±0.1μm以下 |
| 距離測定 | |
| 測定範囲 | Ｘ軸490mm × Ｙ軸390mm |
| 測定精度 | Ｘ軸方向±5μm以下、Ｙ軸方向±5μm以下、繰返し精度±２μm以下 |
| 形状プロファイル | |
| 測定範囲 | Ｘ軸490mm × Ｙ軸390mm × Ｚ軸0.2mm(max) |
| 測定精度 | Ｘ軸方向±5μm以下 |
| そり、うねり測定 | |
| 測定範囲 | Ｘ軸490mm × Ｙ軸390mm × Ｚ軸30mm |
| 測定精度 | Ｘ軸方向±5μm以下、Ｙ軸方向±5μm以下、 Z軸方向 ソフトウェアによる補正 |
| 表面粗さ測定 | |
| 測定範囲 | Ｘ軸490mm × Ｙ軸390mm |
| Ra,Ｒｍａｘ,Rｚ(10点平均) | ±0.1μｍ以下 |
| 自動ステージ | |
| 機構 | 直動ガイド、ボールネジ、ステッピングモーター、磁気スケールによる |
| 移動範囲 | Ｘ軸500mm×Ｙ軸400mm×Ｚ軸 35ｍｍ |
| Ｘ軸、Ｙ軸位置精度 | 3＋3ＭＬ／1000μｍ（マグネスケールによる）ML：長さ |
| スケール分解能 | 0.1μｍ~ |
| 最小移動単位 | 1μm |
| 最大速度 | ＸＹ軸50mm／sec以上、Z軸10mm／sec以上 |
（注）仕様は変更可能です。お問い合わせ下さい。
007: シャワープレート穴径検査装置（型式：CV-22604U）
シャワープレート穴の磨耗をキーエンス製画像センサにて判別する装置です。
カメラをＸＹステージにて移動させ 指定部位を計測します。
●外観
ステージ上は遮光カバーにより囲われます。
| 仕様 | |
|---|---|
| 測定範囲 | Ｘ方向450mm × Ｙ方向450mm |
| カメラ走行速度 | 最大120mm/秒 |
| 制御 | ＰＬＣ、パソコン |
| 画像センサ | キーエンス製 ＣＶシリーズ |
（注）仕様は変更可能です。お問い合わせ下さい。
008: 原盤厚み測定機 （型式：LK-20356）
ディスク原盤、ウェハなどの厚みを高精度に測定します。
キーエンス製 LK-G15 測定ヘッドを上下から挟み込みで測定しますので,
高精度厚み測定が可能です。
● 外観
測定部回転テーブル
| 仕様 | |
|---|---|
| 原盤外径 | 220ｍｍ以内 |
| 測定範囲 | 半径方向10点×90度ごと4ライン |
| 原盤吸着方式 | マグネット（ＣＤ原盤時） |
| 測定ﾃﾞｰﾀ処理 | 数値データとして表示出力 |
| 数値データとして表示出力 | センサ移動、原盤回転は自動（ＰＬＣ、パソコンによる。） |
| センサ | 測定部に搭載するセンサはお打ち合わせさせて頂きます。 例：キーエンス製 LKシリーズ、LTシリーズ、SIシリーズ その他 |
（注）仕様は変更可能です。お問い合わせください。
PID制御によりプレート表面温度は高精度にコントロールされます。